膜厚計可分為接觸式、非接觸式、斷面觀察式三種。

1.接觸式膜厚計

在接觸式膜厚計中，傳感器部和膜厚計主體通過電纜連接，通過使傳感器部與測量對象物接觸來測量膜厚。接觸式膜厚計有電磁感應(yīng)式、過流式、超聲波式、觸針式等。它是最正統(tǒng)的膜厚計，根據(jù)性能的不同，可以以數(shù)萬日元到20萬日元的價格購買。

接觸式膜厚計使用方便，通過將傳感器部分接觸到想要測量的物質(zhì)來顯示數(shù)值。但是，由于反應(yīng)速度因物質(zhì)而異，因此傳感器部分可能需要等待幾秒鐘才能反應(yīng)。當(dāng)使用接觸式膜厚計、電磁感應(yīng)式和過電流式時，需要根據(jù)形成測量目標(biāo)的基板來使用它們。

電磁感應(yīng)型用于鋼鐵等磁性材料，過電流型用于鋁、不銹鋼等非磁性材料。此外，還提供使用兩種方法進(jìn)行測量的雙型，并且通過雙型，可以測量磁性和非磁性材料。

2.非接觸式膜厚計

非接觸式膜厚計通過從膜厚計本身發(fā)射光并檢測從膜表面反射的光和穿透膜的光的波長干涉作為光譜來測量膜厚?；旧希鼈冇糜谌藗儫o法觸及的地方，包括反射光譜型、紅外型、電容型和輻射型。由于檢測部分采用高精度半導(dǎo)體元件，因此比接觸式成本更高。

3.斷面觀察式膜厚計

截面觀察式膜厚計是TEM、SEM等電子顯微鏡。它用于測量無法使用接觸或非接觸方法測量的極小物質(zhì)。然而，它通常用于研究和技術(shù)開發(fā)，很少在現(xiàn)場使用。