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關(guān)于步進(jìn)機(jī)使用的UV照射設(shè)備

更新時(shí)間:2024-09-23      瀏覽次數(shù):308

步進(jìn)曝光機(jī)是一種使用步進(jìn)重復(fù)方法進(jìn)行曝光的投影曝光設(shè)備。將曝光區(qū)域分成幾個(gè)小部分并一次性曝光這些區(qū)域。曝光完成后,移動(dòng)到下一個(gè)區(qū)域并進(jìn)行另一次曝光。這稱為步進(jìn)重復(fù)方法,因?yàn)樵搮^(qū)域被移動(dòng)(步進(jìn))并重復(fù)曝光(重復(fù))。

UV照射設(shè)備一般采用超高壓汞燈作為光源。當(dāng)在晶片或玻璃基板上形成電路時(shí),通過用紫外線照射圖案化的光掩模,將圖案轉(zhuǎn)移到涂有抗蝕劑的基材上。
曝光所需的光線要求均勻度高、角度控制精確、輸出高。為了滿足這個(gè)要求,我們使用短弧燈,它是幾千瓦到幾十千瓦的光源,并通過許多光學(xué)元件將橢圓鏡聚焦的強(qiáng)紫外光照射到光掩模上。


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